Material d’alt nivell Metall de silici 2502

Un mètode de material i de preparació amb un silicida metàl·lic, asilici metall 2502nanoestructura, que comprèn una nanoestructura metàl·lica de siliciur fabricada sobre un substrat SOI; El gruix de la capa dielèctrica aïllant d'aquest substrat SOI és de 100-1000 nm i el gruix de la pel·lícula de silici és de 50-500 nm. El mètode de preparació inclou neteja, assecat, revestiment de fotoresistència positiva, exposició, desenvolupament i fixació, i després fabricar l'estructura del patró de màscara de la nanoestructura necessària a la superfície de la pel·lícula fina de silici del substrat SOI.

1.un material i un mètode de preparació amb un siliciur metàl·lic, aMetall de silici 2502nanoestructura, que comprèn una nanoestructura metàl·lica de siliciur fabricada sobre un substrat SOI; El gruix de la capa dielèctrica aïllant d'aquest substrat SOI és de 100-1000 nm i el gruix de la pel·lícula de silici és de 50-500 nm. El mètode de preparació inclou que el substrat SOI es neteja, s'asseca, es recobreix amb fotoresist positiu, s'exposa, es desenvolupa i es fixa, i l'estructura del patró de la màscara de la nanoestructura requerida es fabrica a la superfície de la pel·lícula fina de silici del substrat SOI. El gravat d'ions reactiu s'utilitza per gravar la pel·lícula de silici al substrat SOI a la nanoestructura necessària, la profunditat de gravat és el gruix de la pel·lícula de silici i, a continuació, a la capa aïllant que conté la nanoestructura de silici, la pel·lícula metàl·lica necessària per a la formació de Es diposita siliciur metàl·lic i, a continuació, el metall i el silici reaccionen en fase sòlida mitjançant un recuit a alta temperatura per formar siliciur metàl·lic, i el metall no reaccionat s'elimina mitjançant productes químics. corrosió, és a dir, es forma la nanoestructura de siliciur metàl·lic. El mètode és senzill i pot controlar la posició i l'escala de la nanoestructura.

Etiquetes populars: Material d’alt nivell Silicon Metall 2502, Xina Material d’alt nivell Silicó Metall 2502 Fabricants, proveïdors, fàbrica