Material d’alt nivell Nitrur de silici

En condicions remotes, la pols de silici es pot nitriar completament en el procés SHS per generarnitrur de silici, i el producte té un alt contingut en nitrogen i un baix contingut en oxigen, però és fase. En la reacció de Silicon Fume Shs, cal afegir una quantitat adequada de Si _3 n _4; La velocitat de propagació de l’ona de combustió de SHS augmenta amb l’augment de la pressió de nitrogen i la disminució de la densitat d’ompliment del reactant, però és independent de la composició del reactant i del diàmetre de la mostra. La temperatura de l’ona de combustió va augmentar amb l’augment de la pressió de nitrogen i l’augment del diàmetre de la mostra, que era independent de la composició dels reactants i de la densitat d’ompliment.

1.Nitrur de siliciLes pel·lícules es van preparar mitjançant la tecnologia de deposició de vapor químic de plasma (PECVD) en diferents condicions de deposició (rang de temperatura del substrat de 20 ~ 180 graus i potència de RF de 10 ~ 30W) i es van estudiar els efectes de les condicions de deposició sobre les propietats i les propietats impermeables de les pel·lícules de nitrur de silici. Els resultats experimentals mostren que amb l’augment de la temperatura del substrat, la densitat, l’índex de refracció i la relació SI/N de les pel·lícules de nitrur de silici augmenten de manera corresponent, mentre que la taxa de deposició i el contingut H disminueixen de manera corresponent. Amb l’augment de la potència de RF, la taxa de deposició, la densitat, l’índex de refracció i la relació SI/N de les pel·lícules de nitrur de silici augmenten de manera corresponent, mentre que el contingut H disminueix de manera corresponent. L’experiment de permeació de vapor d’aigua demostra que, fins i tot si la temperatura del substrat es redueix a 50 graus, la pel·lícula de nitrur de silici dipositat encara té un bon rendiment impermeable. Els resultats experimentals mostren que les pel·lícules de nitrur de silici de baixa temperatura es poden aplicar eficaçment a l’embalatge de dispositius orgànics que emeten llum (OLEDs).

Etiquetes populars: Material d’alt nivell Nitrur de silici, Xina Material d’alt nivell Fabricants, proveïdors, fàbrica, fàbrica, fàbrica