Nitrur de silici metàl·lic d’alt nivell

Nitrur de siliciLes pel·lícules primes tenen una estructura densa, una gran resistència i una bona resistència al desgast i es poden utilitzar com a components estructurals en dispositius MEMS. El mòdul i la duresa del jove de les pel·lícules de nitrur de silici es van provar mitjançant el mètode PECVD i es van analitzar els efectes de la temperatura de deposició i la relació de flux de gas sobre el mòdul i la duresa de les pel·lícules. La pel·lícula de nitrur de silici es va utilitzar com a feix de suspensió per fabricar interruptors RF MEMS.

1.Nitrur de siliciLes ceràmiques són ceràmiques estructurals d’alta temperatura i d’alta resistència amb àmplies perspectives de desenvolupament. Té un alt rendiment (com ara una gran resistència, una bona estabilitat de xoc tèrmic, una gran resistència a la fatiga, una gran resistència a la flexió a temperatura ambient, resistència al desgast, resistència a l’oxidació, resistència a la corrosió, etc.), i s’ha utilitzat àmpliament en tots els passejos. Els mètodes de preparació del nitrur de silici inclouen principalment sinterització de reacció (RS), sinterització de pressió calenta (HPS), sinterització de pressió atmosfèrica (PLS) i sinterització de pressió pneumàtica (GPS). Actualment, el principal problema és que els productes ceràmics de nitrur de silici tenen una duresa i un cost elevat. En el futur, és necessari millorar els processos de fresat, modelat i sinterització i la composició de nitrur de silici i carbur de silici per desenvolupar una millor ceràmica de nitrur de silici.

Etiquetes populars: Nitrur de silici metàl·lic d’alt nivell, xina