Nitrur de silici de producte d’alt nivell

Microstructures de mosaic de silici parcialment cristal·litzades es troben anitrur de siliciPel·lícules preparades per LPCVD. Segons les condicions i el procés de creixement, l'escala de l'estructura va des de desenes fins a centenars de nanòmetres. A partir dels resultats de les proves d’estrès i de l’observació de la microscòpia electrònica de transmissió de les pel·lícules SINX cultivades en diferents condicions, es van analitzar la gènesi de la microestructura de pel·lícules SINX riques en silici i la seva interacció amb l’estrès de la pel·lícula, i el procés de creixement de LPCVD de les pel·lícules sinx riques en silici 40mm × 40mm. A partir dels resultats d’aquest estudi, el creixement controlat de les membranes SINX amb una tensió de tracció determinada va ser realitzat per LPCVD.

1.Nitrur de siliciLes pel·lícules primes (sin _ x) es van preparar mitjançant tecnologia de deposició de vapor químic de baixa pressió (LPCVD) mitjançant Silà i amoníac com a fonts de silici i nitrogen, respectivament i nitrogen d’alta puresa com a gas portador. La cinètica de creixement de les pel·lícules Sin _ x es va estudiar per el·lipsometria, les propietats de les pel·lícules Sin _ x es van caracteritzar per espectroscòpia infraroja de Fourier i es va observar la foto de la foto de la fotografia de raigs X i la morfologia microscòpica de les pel·lícules SIN {_ x Microscopy. En les mateixes condicions d’altres processos, la taxa de creixement de la pel·lícula Sin _ x augmenta monotònicament amb l’augment de la pressió de treball i la proporció (R) del cabal d’amoníac a silà en el gas d’alimentació té un efecte contrari a la taxa de creixement de la pel·lícula. A mesura que la temperatura de reacció augmenta, la velocitat de deposició augmenta gradualment, assolint un màxim al voltant de 840 graus i després disminueix ràpidament. Quan s'utilitza R2, s'obté un sin _ x pel·lícula fina (x1.33). Quan s'utilitza R4, s'obté una pel·lícula Sin _ x amb gairebé esteliciomètric (Z≈1.33).

Etiquetes populars: Nitrur de silici de producte d’alt nivell, Xina Producte de producte de gran nivell Fabricants, proveïdors, fàbrica, fàbrica, fàbrica